二手 SEMITOOL 470S #178413 待售
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ID: 178413
Spin rinse dryer, (SRD)
Single Spin Rinser Dryer on a roll around cart
Capable of processing up to 6" wafers
Possible options include: rotors, static eliminator, resistivity monitor and water recirculator
"S" model upgrade includes class 10 Poly, quick disconnect rotor and an N2 rear seal
Controller Compatibility: PCS-101, PCS-102
DI Water Recirc Capable: YES
Motor Seal: Labyrinth
Motor Type: Brushless
N2 Heater Capable: YES
Resistivity Monitoring Capable: YES
Rotor Type: Quick Disconnect
Static Eliminator Capable: YES
Substrate size: 150 mm max.
System Configuration: Roll Around Single Bowl.
SEMITOOL 470S是一种光刻设备,用于在清洁室环境中制造半导体器件。该系统由多个独立组件组成,它们共同为用户提供了一个高质量、高精度的半导体电路开发环境。SEMITOOL 470 S的核心是一种先进的高频脉冲电子束蒸发器,其设计目的是将最好的光刻胶层沉积到下面的材料上。蒸发器由高频高压电源和大型对称电子束枪组成。该单元采用的共聚焦定向电子束振荡技术确保了精确的抗蚀性沉积,并确保了光致抗蚀剂线的尺寸保持一致。蒸发器还带有一系列可调节的参数,如柱的位置、线宽和沉积深度,使光刻胶得以精确应用。470S的第二个组成部分是旋转处理器,它控制着光刻沉积的精确旋转和旋转参数。自旋处理器配备了先进的DSP(Digital Signal Processing)机,将绝对精确的过程控制与远端旋转和加速度的精确跟踪相结合。处理器使用一系列旋转配置文件进行预编程,使用户可以轻松地选择最适合其抵抗厚度和布局要求的配置文件。470 S还包括多曝光处理器,它提供了精确一致的多曝光源。这款处理器提供了一系列的曝光要求,从单条到复杂的直线模式,使得半导体电路设计的制造具有高度的准确性和可重复性。最后,SEMITOOL 470S采用高分辨率检测工具,确保了沉积光致抗蚀剂的最佳质量和一致性。这一资产的特点是三台高分辨率相机配有可调变焦镜头,允许同时检查多个区域。检测模型还连接到功能强大的计算机设备,确保摄像机捕获的数据始终准确、最新。SEMITOOL 470 S光刻系统是一个真正全面的单元,为用户制造半导体器件提供了完整的解决方桉。其先进的蒸发器技术和精确的Spin处理器,以及其多曝光处理器和高分辨率的检验机,在质量、一致性和可用性方面都是最可靠的。
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