二手 SEMITOOL 470S #293658254 待售

SEMITOOL 470S是一种设计用于处理半导体晶圆的光刻设备。它具有传统光刻索引器与强大的工艺控制相结合的特点。该系统旨在在广泛的应用中优化半导体器件的处理。SEMITOOL 470 S由基板处理室、多个过程模块和易于使用的用户界面组成。基板装卸室是为提高晶片装卸效率而设计的。它具有高容量，具有较大的晶片分级区域，可以快速装卸，并在整个腔室内均匀分布真空。470S的集成多工程模块是为光刻和抵抗开发过程而设计的。该设备的功能包括先进的步进控制器、双索引、可重复的迭加跟踪以及获得专利的预对齐器。步进控制器提供了对线性和旋转运动的独立控制，从而在阵列应用中获得了最大的精度。双索引机便于基板与图样化狭缝和阶梯状场的重复对齐，而预对齐器则使晶片保持完美的配准。470 S还配备了配管喷嘴装填工具和防腐带状腔室,两者均与外部环境密封,以确保无污染处理。资产的独立的抗蚀层应用室可以容纳广泛的光刻胶，允许过程的多功能性。SEMITOOL 470S的用户界面是专门为简化和加快生产操作而设计的。该模型使用带有直观图标的触摸屏界面，使导航和导航过程更加容易。集成工具专为详细的产品分析而设计,允许用户访问有关其每个过程的详细数据。总体而言，SEMITOOL 470 S是高效半导体晶圆加工的理想光刻设备。其创新的设计结合了光刻工艺的多功能性和精确的抗拒开发能力，以及易于使用的用户界面。