二手 SEMITOOL 470S #9105722 待售

SEMITOOL 470S是光刻装置，在光刻过程中用于处理半导体晶片。该设备是一种功能齐全的工具,设计用于处理前端和后端应用程序,而操作员的干预最少。该系统建立在一个晶圆处理单元上，该单元由一个可以处理各种晶圆大小和厚度的高分辨率X-Y执行器支持。它还可以使用自动对齐机（AAS）以最短的设置时间交换晶片尺寸,该机补偿基板之间的位置差异。SEMITOOL 470 S配备了自动化学输送工具，可确保向晶圆表面精确输送化学物质，并限制接触有害物质。该资产具有hot.cold容量,允许进行暖冷处理。它还带有广泛的耐热处理能力，包括预烤、热氧化物、氧化物蚀刻和DRIE。470S的PLC模型可监视所有设备设置,并基于程序在系统控制器上创建图形界面。这样可以确保以优化和可重复的方式执行所有流程步骤。该设备有一个多用途加工站（MPPS），用于处理底物清洗、蚀刻、防腐涂抹、曝光后烘烤、固化、蚀刻、旋转磨砂、灰烬等。470 S设计有密封的加工室和板载涂料输送系统。这样可以在无氧和无水的气氛中加工晶片，确保最佳蚀刻速率。该单元还配备了配有CCD摄像头的光学监测机，使操作员能够实时观察过程。最后，SEMITOOL 470S包括用于高质量光刻工艺的紫外线光源。该单元配备了13.5sq.cm标准的曝光面罩，还可以搭配375nm、UV激光进行更精确的处理。总之，SEMITOOL 470 S是一种用途广泛、可靠的光刻工具，为操作员提供了一系列的工艺选择。该单元的设计易于控制和监控,确保了一致、可重复的结果。