二手 SEMITOOL 470S #9209035 待售

SEMITOOL 470S是为半导体制造工艺设计的光刻设备。它能够在湿式清洁、开发、蚀刻和光刻剥离过程中达到高性能。使用该系统,用户可以在其纳米加工工作流程中获得一致的结果,因为它提供了可重复的过程和卓越的处理控制。SEMITOOL 470 S是一个单室垂直单元，具有一个短的开放过程室，可以支持各种小规模的蚀刻、沉积、抗旋和计量过程。它可以利用湿清洗、显影、蚀刻和光刻剥离来达到理想的效果。内部流程室允许快速更改流程,从而使用户能够快速轻松地在流程之间进行切换。该机器还配备了一个专有的EasyClear数字视觉传感器包，可用于操作过程中基板的受控装卸。Load/Unload Station还有嵌入式半导体技术，允许用户无需任何人工接触就可以装卸基板，从而消除污染风险。该工具配备了自动监控资产，能够扫描以检测关键参数，如基板温度、压力、湿度和工艺趋势。这样可确保光阻模型处于恒定控制之下,并能够主动调整工艺参数,以确保特定应用程序的最佳工作条件。470S光敏设备还配备了节能环保智能措施，如节能加热系统和惰性气体净化处理。这些措施允许用户使用对环境影响最小的设备。此外，机器的所有部件都以高质量标准制造，以提供最高纯度的工艺条件和较强的长期可靠性。470 S Photoresist工具可以配置各种配件，以获得最佳的处理效果。