二手 SEMITOOL 470S #9209038 待售

SEMITOOL 470S是为精密薄膜涂层设计的自动化光刻设备。它包括抗蚀剂分配器、基板级、真空系统和受控环境。分发器能够精确控制多重抗性配方，允许精确的重复性。分发器可同时容纳液体和固体光敏材料，提供灵活性，并允许定制薄膜工艺。分发器还配备了一个泵和溷合器，可确保均匀地应用抗蚀剂。基板级为基板材料的放置提供了一个平坦的区域。舞台设计为可容纳各种尺寸可达4 x 4英寸的基板。它也可以配置有加热或冷却的平台，允许在薄膜过程中进行温度控制。真空机包括真空室和可调节压力设置。这样甚至可以抵抗对基板的覆盖，同时清除基板上任何不需要的气泡或尘埃颗粒。最后，SEMITOOL 470 S内部的受控环境减少了外部污染物的有害暴露，如灰尘和湿度。这进一步有助于创建可重复和可靠的薄膜工艺。总之，470S是一种用于精密薄膜工艺的自动光刻工具。它提供对多种抗蚀剂配方的精确控制，容纳各种尺寸的基材，提供真空资产以确保均匀覆盖，并保持清洁环境以防止外部污染物。