二手 SEMITOOL 470S #9254338 待售

SEMITOOL 470S Photoresist Equipment是一种高性能、自动化的湿式板凳，设计用于制造半导体集成电路的光刻工艺。该系统可以将光敏材料的高级加工应用于各种尺寸的半导体晶片，从200毫米到500毫米，具有介电和金属沉积。该装置有一个自动输送机，在处理步骤之间运输晶片，一个多区域温度控制的湿式工作台，以及一个精密的基于软件的配方控制机器。这种先进特性的组合使得工具无需人工干预就能在晶片上产生经过均匀处理的光刻胶层。SEMITOOL 470 S设计用于沉积具有消除表皮抗蚀性的先进光刻材料，形成抗反射涂层（ARC），建造新的光刻层或取代现有的损坏或缺陷层，增加或减小光刻层厚度。这一先进的资产提供了高通量的性能和可靠的晶圆清洗，在半导体制造的关键因素。该模型包括用于处理LOR5、LOR6和LOR7光刻胶的解决方桉,允许在工艺模块预处理和湿式台式设计方面的变化。470S的控制设备由操作员平台控制，便于设置和调整工艺参数。该系统还能够逐步监测晶圆工艺，提供准确可靠的结果。除了上述功能外,470 S还提供可调的清洁参数和可变的模块压力,从而改进晶圆处理和更好地控制光刻胶质量。该装置设计为使用精密分配工具，在光刻层压过程中提高精度。这些特性结合其先进的基于软件的配方控制机器，使SEMITOOL 470S能够为各种半导体应用提供出色的光刻工艺。