二手 SEMITOOL 480 #78270 待售
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ID: 78270
S-Style Spin rinser dryer bench top (1 bowl system), remanufactured
Accommodates up to 8” low profile
102 Controllers, Digital
Brushless motor
Non-contact labyrinth seal upgrade for motor drive and bowl assembly
Rotor Quick Disconnect, for a low profile cassette A192-81M
Resistivity Monitor
Static Eliminator Assembly
Complete Documentation Package
Guaranteed Particle counts <50 at .3 micron
Polypropylene Cabinet “Aero Style”
Electro-polished Bowl
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 480光抗蚀剂设备是一个自动化系统，提供全晶圆处理和剥离光抗蚀剂图样的高速、可重复性和准确性。该单元使用前端负载机器人在预清洁站、热板、轨道和开发者站与卸载站之间转移晶片。预清洁站的设计目的是清洁晶片表面，以去除任何预先存在的残留物，并为抵抗应用提供一个理想的起点。在烘烤前和烘烤后的过程中，热板在晶片上提供均匀的温度，并显示抗蚀剂模式。履带模块配备了一台先进的微处理器型机器，可在每晶片的基础上调整盘片速度、喷嘴尺寸和薄膜厚度。开发站配备了优化的旋转器和多向喷嘴，快速准确地开发了抗蚀剂型式。卸货站设计用于在烘烤和跟踪过程后精确定位晶片。该工具设计用于处理直径不超过8英寸的晶片和处理厚度不超过1mm的磁带。它提供了极好的对齐可重复性、转角精度和其他最大一致性的关键参数。480还易于编程和维护,并且在发生任何故障时提供故障恢复资产。该模型非常适合半导体器件应用，旨在确保最大产量和成本效益。
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