二手 SEMITOOL 480 #78271 待售

SEMITOOL 480是一种基于光刻技术的半导体晶圆加工机。专门设计用于精密半导体器件的生产，如集成电路等微电子元件。该设备围绕光刻概念构建，是集成电路制造过程中的重要一步。光刻过程涉及使用光源，例如紫外线辐射，将图样从光掩模转移到基板上。然后使用光刻胶开发图样，并使用适当的化学或等离子体处理进一步蚀刻。480使用光刻技术，使晶圆上的图样利用紫外线的精确发展。该系统具有电子束源，用于在晶片上曝光光刻胶，以创建所需的图样。此外,该单元还包括一个临界成像模块（CIM）,该模块可提供精确、高分辨率的光掩模图像。此图像随后在光刻过程中用作参考，以确保正确的图样被曝光、显影和蚀刻到晶片上。为了提高精度和均匀性，SEMITOOL 480还具有可编程斜角单元。斜面单元可以用来调整蚀刻深度，以便于生产特征尺寸很小的集成电路。该机还包括一个温度控制单元，用于在开发过程中将光敏材料保持在最佳温度。此外,480还具有高精度的模式对齐模块。此模块允许将光掩模快速准确地对准晶片,以确保精确的图样曝光。此外,该工具还包括用于监视和控制整个制造过程的高级软件。综上所述，SEMITOOL 480是专门为制造高精度半导体器件而设计的先进光阻资产。它具有电子束源、可编程斜面单元、温度控制单元和图样对准模块，在晶圆图样的开发过程中具有较高的精度和均匀性。此模型附带了用于管理和控制整个制造过程的综合软件。