二手 SEMITOOL 480 #78272 待售
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ID: 78272
F-Style Spin rinser dryer, bench top with rotor
Accommodates up to 8” low profile
101 Controllers, Digital
Ferrofluidic Rear Bowl Shaft Seal
Electropolished bowl
Polypropylene Cabinet Aero Style
Electropolished Bowl
1/2 HP Direct Drive Motor
Rotor to accommodate low profile 8” A192-81M
Static Eliminator
Resistivity
Complete Documentation Package
Guaranteed Particle counts < 25 at .5 micron
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 480光刻设备是一种高通量光刻加工的优质解决方桉.该系统旨在为印刷电路板、平板显示器和类似精密电子设备的制造提供可靠且可重复的工艺。该装置由三个主要部件组成:光刻磁道和微调机、基于弹药筒的化学输送和480控制器。光敏磁道和旋转器工具是这项资产的基本组成部分,由一个带有一系列旋转器模块的磁道和一个旋转马达组成。此模型是根据切口加载过程设计的,可实现高吞吐量生产和短处理时间。旋转模块由旋转马达驱动,该马达经过校准和调整,以确保光刻胶轨道的精确可重复运动。轨道上装有传感器,用于检测光刻胶和基板的时序和位置,确保可重复的过程。在轨道的末端放置一个垂直的脚轮机构,让基板容易从设备上装卸。化学输送系统由带计量装置的基于墨盒的化学模块组成,旨在提供化学和工艺环境之间的有限接触。这样可以确保模块残留的任何残留化学物质不会交叉污染基板或履带单元。墨盒是可互换的,以减少溶剂浪费,确保快速化学变化和尽量降低维护成本。这些模块还包含安全功能,如过度填充检测、流量控制和传感器监控。SEMITOOL 480控制器的设计允许用户远程控制和监视整个过程。这款控制器配备了高级功能,如配方同步和多机操作,为用户提供了全程过程控制。控制器还允许远程诊断,并向操作员提供错误消息。480 Photoresist Tool旨在提供可重复性和灵活性的最佳融合,使其成为寻求提高生产质量和产量的制造商的宝贵解决方桉。
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