二手 SEMITOOL 480 #84362 待售

SEMITOOL 480
製造商
SEMITOOL
模型
480
ID: 84362
Spin Rinse Dryer.
SEMITOOL 480是一款高效、用途广泛的光阻设备,旨在为广泛的微电子应用产生高质量的成像结果。该系统旨在满足最先进行业的需求。它包括一个视觉单元选项(可选),允许用户优化新图像的成像,无论它们简单还是复杂。该机还配备了印版阅读器选项(可选),允许用户检查和监控照片的质量。480工具由四个加工室组成,使其能够一次处理多达200个晶圆。这使得资产效率极高,不需要多个进程或多台机器。SEMITOOL 480的加工室具有创建高质量图像所需的功能,同时提供卓越的晶圆均匀性和成本效益。480的每个房间都是专门为应用而设计的。第一个腔室是为标准光敏剥离器/显影剂/金属带工艺而设计的。第二室装有冷却剂喷雾器,用于沥青光阻剥离、金属带状工艺,以及最佳的光敏膜与基板的粘合。第三室为优化各向异性湿蚀刻设计,第四室为金属蚀刻设计。SEMITOOL 480型号还带有许多其他功能和选项,以最大限度地提高性能。其中包括基于配方的计算机控制、手动覆盖控制、自动热补偿和远程机器控制。该设备还能够支持各种生产速度和分辨率,以满足任何成像需求。480确保了高性能成像和生产率,提供了广泛的功能,以确保结果始终是一流的。SEMITOOL 480光阻系统从其多功能的腔室设计到其增强的处理能力,在成像微电子时提供了极致的效率、灵活性和可扩展性。
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