二手 SEMITOOL 480 #9074408 待售
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SEMITOOL 480是一种设计用于处理和制造集成电路的光刻设备。适用于多种材料,从简单的铜焊引线到复杂的设计。该系统通过高效的操作和全面的控制功能,为用户提供了更好的操作、维护和成本节约。它提供了光刻胶加工的多功能性和灵活性,有两个主要工作站处理不同类型的材料。主要工作站为所有光刻胶处理提供单层平台设计,包括曝光和处理。通过可变曝光设置和用户可选择的可编程曝光时间,它增强了使用所有类型的光刻胶和基板的灵活性。该装置有一个独立臭氧控制系统(IOC),用于在加工区将臭氧水平保持在0.01 ppm以下。这为加工作业提供了一个清洁、安全和可靠的环境,而无需特别处理臭氧敏感材料。该机还包括水射流划刀,为光刻胶加工提供精确的评分。480具有多种可选功能,例如用于处理结果的显示器和打印机。综合软件包支持广泛的配方,使客户能够优化其流程性能。该工具旨在最大限度地减少材料浪费、成本和时间,并提供高吞吐量和优异的产量。该资产与所有常见气体兼容,包括真空氧化、RCA清洗和各种退火过程。SEMITOOL 480以其干净、简单和安全的操作,提供了对工艺参数的精确控制。它的一系列功能和设置使用户能够完全控制过程的每个步骤,并使他们能够针对最复杂的设计优化性能。
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