二手 SEMITOOL 480 #9105787 待售

SEMITOOL 480是一种高性能的光阻设备,旨在为各种晶圆和基材工艺提供最佳的涂层性能。该系统具有独特的双淋浴罩头设计，为广泛的应用提供了卓越的均匀性和一致性。高精度MCA（多室应用）单元提供了每个工艺步骤所需的显影剂、抗蚀剂和蚀刻剂的精确浓度。此外，优化的PWB（可编程墙偏置）控制模块为大批量生产提供了可编程过程控制。该机配备了最先进的工艺监控系统。这包括SEMITOOL 4340控制器，它使用直观的触摸屏菜单和场景进行全流程控制。以及一个反馈控制循环，可以方便地设置和修改过程参数。该工具还配备了高度测量传感器，以便在临界或温度敏感的应用中具有更高的精度。480资产的设计非常可靠,采用模块化设计,便于日常维护。它有两个机架，从晶圆尺寸到直径30英寸有六个腔室应用。该模型还提供了卓越的环境兼容性,具有各种与过程相关的材料以适合任何应用程序。设备配备了一系列电源保护功能，包括主动和被动ESD保护。此外，SEMITOOL 480拥有先进的光学识别系统，旨在提供基板的快速识别和工艺变化。该单元可以在不到1秒的时间内检测基板类型和阵列步骤。该机器设计为支持洁净室ISO-5和US-EPA标准，可指定用于RoHS和非RoHS应用。480是先进光刻涂层工艺的经济高效解决方桉。它为大批量生产和工艺一致性提供了卓越的性能,同时还提供了安全和环保的工具。SEMITOOL 480具有坚固的设计和直观的工艺控制功能,可确保当今光刻涂层工艺的最大精度和可靠性。