二手 SEMITOOL 480S #135528 待售

SEMITOOL 480 S是一种光刻设备，用于在半导体制造过程中进行单晶片湿处理系统操作。它具有专有的端到端自动化解决方桉,用于将光刻胶层清洁、蚀刻、剥离和干燥到半导体晶片上。480 S设计用于每批精密加工多达16个晶圆。它采用自上而下的机械机器人注射器，将少量的光刻胶流体分配到晶圆表面上。这是一个环保单位，最大限度地减少液体废物，最大限度地提高工艺均匀性。该机还具有可调节的配电阀，可确保晶片表面的最佳和一致配电剂量。光致抗蚀剂工具还通过使用特殊的喷雾歧管和喷嘴组合提供液体的有效和均匀的分布。这使得光刻胶在晶片上具有更好的均匀性，避免了光刻胶在沉积到较大的模具区域时的浪费。SEMITOOL 480 S还采用专门的洗涤运动应用于晶片表面，以减少每个晶片的缺陷数量。另外，圆形平台允许晶片在施加光致抗蚀剂时连续旋转，从而在晶片上形成均匀的涂层。这一资产还拥有一系列专用的加热器和热电偶，在整个光刻应用过程中测量晶圆温度。这种监测保证晶片保持在一致的温度下，从而产生更高的产量和更好的光敏层质量。最后,480 S采用自动干燥算法,可确保将所有光刻胶从晶片中取出,留下干净、高分辨率的表面光洁度。干燥过程消除了任何表面残留物或微粒，避免了对底层光致抗蚀剂层的损害。