二手 SEMITOOL 480S #9021897 待售
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ID: 9021897
Spin Rinser Dryer (SRD)
101 controllers, digital
Polypropylene cabinet
Up to 8" process capability
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Bowls to be electropolished
Labyrinth seal design
220 V ready system (transformer included)
QD rotor design
Options included:
Static eliminator
DI resistivity probes
(1) QD rotor (8") - low profile cassette only.
SEMITOOL 480S光刻设备是专门为光刻工艺设计的先进湿蚀刻、涂层和清洁系统。它是低容量和高容量应用的绝佳选择。它配备了一个大的、彩色的液晶触摸面板,允许快速轻松的编程,以及简单的用户友好操作。它还具有先进的运动控制,允许精确放置基板处理.480S光敏装置由两个模块化部件组成。第一部分是wetcell,能够处理尺寸达八英寸(20厘米)的基板。它包括一个用于光致抗蚀剂和显影剂溶液的化学储层,以及一个用于基板处理的真空喷嘴。该wetcell还包括一个10摄氏度(50 °F)至400摄氏度(750 °F)范围的高分辨率数字温度控制。该湿电池具有耐腐蚀性能,可在高达90摄氏度(200 °F)的温度下工作。SEMITOOL 480S光刻机的第二部分是Spincoater。它设计用于在尺寸不超过8英寸(20厘米)的基板上提供均匀的光刻胶材料涂层。它具有用于基板旋转的变速电机,以及用于旋转速度和总时间的数字显示器。Spincoater还具有自动定时功能,可根据基板尺寸自动调整时间。480S光敏工具设计精确度和精确度.它包括一个边缘检测功能,您可以使用该功能来确保基板设置在正确的位置。此功能有助于消除手动对齐的需要,从而大大减少不准确的结果。SEMITOOL 480S光刻资产是光刻应用的理想选择,需要精确可靠的湿蚀刻、涂层和清洁。它能够处理尺寸不超过8英寸(20厘米)的基板,并具有先进的运动控制、耐腐蚀设计、变速旋转和自动计时器功能。凭借简单的用户友好设计和功能,480S一定能满足您的光刻需求。
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