二手 SEMITOOL 480S #9105286 待售

SEMITOOL 480S是一种用于半导体器件制造中涂层和开发工艺的光刻设备.它设计用于生产环境，对环境污染物具有很高的耐受性，包括通过等离子体蚀刻和化学机械抛光等其他工艺产生的污染物。它是一个全自动系统，提供精确、均匀的抗蚀涂层和晶片开发。它具有一个浅水池浴缸和一个可调的晶圆浮标高度为优越的覆盖整个晶圆表面。现场监视器可确保均匀的抗性分布和厚度。自动调平装置可确保边缘珠面覆盖,并防止边缘堆积。该机还采用了智能化学输送，减少了化学覆盖，喷雾输送增强了均匀性。采用先进的车载PLC实现全自动、无人值守操作，操作简单可靠。480S使用最先进的就地干燥工艺工具,以实现快速循环。它包括一个利用温度控制空气加速预干的优化的抗蚀剂预干化工具，一个最大均匀性和改进的抗蚀剂附着力的紫外线能量幕，以及一个快速脉冲抗蚀剂暴露资产。SEMITOOL 480S还包括一个自动清理程序,可以清除任何化学沉积物的腔室,从而节省成本和时间。它还包括一个易于导航的HMI菜单,以有效地调度和监视流程。最后，该模型得到全面服务包的支持，包括诊断、维修和支持，以及安装和操作方面的全面培训。综上所述，480S为半导体器件制造商提供了一种用途广泛、可靠的光刻设备。它结合了自动化功能、高效的工艺工具和强大的支持,使其成为生产环境的理想选择。