二手 SEMITOOL 480S #9229853 待售

SEMITOOL 480S是一种光刻设备,用于对基板进行光刻.该系统专为大批量生产环境而设计，能够满足许多先进集成电路（IC）应用的要求。480S具有高质量的双光束准分子曝光单元。这台机器利用了一系列波长，包括248 nm和193 nm紫外线辐射，使用户能够为给定的光致抗蚀剂选择最合适的曝光参数。该单元还包括一个内置的机械臂，用于在曝光过程中精确定位基板。SEMITOOL 480S设有低温等离子体室，用于涂层后等离子体清洗。该腔室的设计目的是在使用光刻胶之前清洁基板，确保表面光滑均匀，以达到结果的最大均匀性。在涂层后等离子体清洗过程中，底物在低于常规蚀刻工艺使用的温度下暴露于电离气体溷合物中。这使得腔室可以清洁基板表面而不会造成任何损坏。480S配备了一个用于平版印刷对准的高分辨率相机工具。这一资产使用了一系列CCD传感器，以便使基板与曝光模式精确、准确地对准。模型还使用二维对齐特征，以确保基板的图桉不会出现变形。SEMITOOL 480S还包括一个自旋蚀刻单元，用于将光刻胶沉积到基板上。该设备能够沉积不同厚度的光致抗蚀剂，最大厚度为8.5微米。沉积后，基材经过干燥后烘烤过程，进一步增强了光致抗蚀剂对基材的附着力。最后，480S可用于预烤和后烤的基材。为进一步降低基板表面张力，增加光刻胶的附着力，提高图样的清晰度，进行预烘烤。经过后烘烤，光刻胶图桉可以固化并准备应用。总体而言，SEMITOOL 480S是一个先进的系统，能够处理各种先进的光刻过程。其精密的设计和高端技术的运用，使其能够以出色的均匀性提供准确的结果。这使得它成为大批量生产和高级IC应用的理想选择。