二手 SEMITOOL 8300 #9155186 待售

SEMITOOL 8300是设计用于化学机械平面化（CMP）和热化学气相沉积（TCD）生产工艺的光阻设备。它是SEMITOOL开发的系统中的最新开发,用于实现晶圆曲面的精加工结果。该系统具有触摸屏、易于操作和低调的设计,使操作员无需创建多个手动条目即可更改配方和程序。8300单元是一个三轴平台，为关键过程提供了更好的重复性和准确性。它具有一个长寿命的非接触测量头，用于在晶圆表面上进行精确和可重复的测量。测量头位于基板的正上方，允许最小接触，进一步最小化腔室污染。该机器可以配置有加热的化学输送工具或腔室集成的操作资产。加热输送模型为优化清洗过程和可控蚀刻过程提供了化学物质的精确输送。腔室集成操纵设备确保准确的物料转移，提供一致的结果，并尽量减少污染。SEMITOOL 8300还具有高级流程控制（APC）功能,以便为用户提供实现最佳流程结果的自动化、直观和简化的方法。APC利用高级算法实现对CMP和TCD进程的精确控制。此外,系统还包括一组可配置的传感器,允许用户控制晶圆的清洁度和粘附水平。这些功能使用户能够优化物料的去除、清洁和沉积,从而实现可重现和可重复的工艺结果。8300也是令人难以置信的易于维护。该单元包括一台清洁机、多个工艺罐和一个背面Z高度监视器，可以让用户监控和保持室内环境的清洁度。此外,还提供了一套MTBF（故障前的平均时间）进程,有助于优化工具的控制。综上所述,SEMITOOL 8300是下一代光刻胶资产,非常适合用于各种生产过程。它具有先进的过程控制、长寿命的非接触式测量头、自动化的物料传输以及易于维护和可靠性。该模型保证了准确和可重复的流程结果,确保了客户的满意度.