二手 SEMITOOL 8300S #293755283 待售

SEMITOOL 8300S是一种光刻加工设备，设计用于在各种基板上提供精确的蚀刻和沉积结果。它提供了先进的过程控制,可实现高质量的结果,并与每批产品保持一致的过程时间。SEMITOOL 8300 S机通过智能批量监控支持快速准确的结果。该系统包括许多不同的工具来处理许多不同类型的作业，包括旋转、喷雾、抄写员和气动应用。8300-S配备全自动激光调制蚀刻装置，处理时间短，蚀刻控制精确，蚀刻设置广泛，以适应不同的基板应用。腔室最多可容纳10个全区载荷。脉冲等离子体源去除有机、非金属污染物以获得更好的蚀刻效果，光刻涂层很容易通过单区、三区或多区自旋过程实现。该机还配有一个四区喷涂涂层，设计用于沉积薄膜层和均匀涂层，以及一个五区刮板，为每种材料类型提供精确的蚀刻参数。8300 S还包括一个气动驱动站，用于工艺后清洁和可溅射层的沉积。所有独立的工艺工具都配有内置的气体选择阀和工艺控制参数。总体而言，SEMITOOL 8300-S是一种先进的光刻胶加工工具，可在包括晶圆、基材和其他细腻零件在内的各种基材上提供精确的蚀刻、沉积和清洁功能。其先进的工艺控制和多种工具提供了最佳的性能和效果,使其成为大容量和小体积光刻胶加工的理想选择。