二手 SEMITOOL 8300S #84828 待售
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ID: 84828
晶圆大小: up to 12"
Spin Rinse Dryer, up to 12"
(101) Digital controllers
Polypropylene cabinet
Low profile Entegris 12" cassette
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Electropolished bowls
Labyrinth seal design
(4) Bolts or QD rotor design
CY-20 Static eliminator
(2) Rotors.
SEMITOOL® SEMITOOL 8300S是一种光刻胶应用系统,旨在简化和优化光刻胶材料的沉积。它是一种多室、基于平台的工具，包括多个应用室、基板分期区和基板清洁器。该系统使用自动化、计算机控制的机器人装置在不同的房间之间移动基板。在这些腔室内，可以进行多种过程，包括将基板暴露于光致抗蚀剂、纺纱、烘烤和冷却。该系统还包括用于长期、一致应用结果的溶液搅拌和再循环功能。SEMITOOL 8300 S专为低容量和高容量作业而设计,吞吐量由用户控制。它的洁净室等级为100级或更高，视环境而定，旨在减少浪费和尽量减少操作员污染。它也可用于干式和湿式抗性应用，使其成为许多工艺的理想解决方桉。总体而言，8300-S是光刻应用的有效工具。它能够容纳一系列的生产量,而且其强大的设计使其成为可靠且经济高效的解决方桉。其强大的设计还确保了在较长的工作寿命内的可靠性能,从而降低了维护和管理成本。使用8300 S,光刻胶可以快速、准确地应用,确保了光洁度的一致和可靠的结果.
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