二手 SEMITOOL 8300S #9155196 待售

SEMITOOL 8300S是用于最先进的光刻加工的光刻设备。该系统采用高真空、低背景和多光束技术的专有溷合体,以便提供精确、可靠和高效的工艺,将无限制的复杂阵列阵列成型到基板上。它由几个部件组成，包括一个垂直安装的SEMITOOL腔室、一个高压反射干衣机和一个多束投影仪。它还具有低能量可变脉冲波技术，用于细线、光刻元件和高分辨率基板的图案化。所有这些都是通过其直观的控制器控制和监控的，该控制器具有图形用户界面。该多光束光刻工具投射在425 nm紫外线波长下，可以在300 μ时曝光尺寸不超过8英寸、间距不超过4.5 μ和间距不超过40 μW/cm2米的基板。这使该工艺能够创建高分辨率的光致抗蚀剂工艺,如薄层、具有不同聚焦设置的双曝光、定义接触孔形成的抗蚀剂形状以及定制尺寸的标线。它还具有保持细线和元素特性的能力，以提高焦点深度，增加处理时间，并提供改进的模式配准。超高真空室的设计可保持≤ 1 x 10-6 Torr的基本压力,同时配备自动涡轮泵速度控制装置,进一步有助于减少污染。这台机器具有高精度阶段，即使在高压情况下也能提供精确、可重复的基板定位和放置。低背景的SEMITOOL 8300 S还采用了符合行业标准且臭氧安全的无味环保工艺。它使用环保的超高压电源为光学工具供电。它还有一个遮光片，有助于防止散光进入资产，增加总曝光时间。总而言之，8300-S是一种高效、可靠、高质量的光刻胶加工解决方桉。其先进的设计和用户界面使其易于使用并有助于保持高水平的准确性和可重复性。由此，广泛应用于半导体制造、医疗器械生产、生物技术和制药等行业应用。