二手 SEMITOOL 8300S #9160072 待售

SEMITOOL 8300S是为半导体工业晶圆加工应用而设计的光刻设备。该系统提供精确的光刻胶自旋涂层和随后的干燥，同时还提供更薄膜的精确计量测量。这使得能够生产复杂的光电器件，如光电探测器和其他组件。整个单元由几个部分组成：一个温度控制的旋转站、一个真空控制的烤箱、一个优越的基于视觉的成像子系统和复杂的软件。SEMITOOL 8300 S利用离心运动驱动器和低阻力空气轴承/转盘进行高分辨率旋转和精确速度控制。高性能真空烤箱保证了均匀干燥和晶体生长，提供了良好的均匀性在旋转模式和提高涂层厚度。成像机提供对蚀刻特征的精确检测，并允许识别非均匀性或污染。此外，8300-S将集成软件与自动控制和优化算法结合在一起。8300 S在其过程中提供了高精度、准确性和灵活性。精密的自旋涂层是以广泛的涂层速度实现的，范围从20-1800 rpm，显着的平整增强，以及由于其高速压缩机而改进的振动控制。此外,该工具还提供精确的计量测量,以确保符合产品规范并确保高产量。灵活性也是SEMITOOL 8300-S的一个关键特性，这是由其高度可定制的软件启用的。其直观的用户界面简化了操作,并允许轻松修改流程和配方设置。故障检测和恢复功能可确保快速、精确地处理任何意外事件。综上所述,8300S为半导体工业应用提供了卓越的性能和可靠性。它的低阻力空气轴承/转盘，精确的速度控制，优越的基于视觉的成像，集成的软件，以及高精度的计量测量，使其成为生产高容量、高质量光电元件的理想选择。