二手 SEMITOOL 8300S #9275 待售

SEMITOOL 8300S是一个光刻加工系统，主要设计用于蚀刻和开发直径不超过8英寸的晶片。它提供精确的控制和可重复的结果，使其适用于包括MEMS、纳米技术和光电子在内的一系列半导体应用。它由一个湿式工作台和一个加工室组成，该工作台可容纳两个化学储罐----可通过多种工艺预先编程。该系统配备了各种各样的附件，如酸中和器、压力控制器、真空通风口、热交换器和数字恒温器，用于量身定制的处理。该室采用光刻板，在晶圆表面上均匀分布紫外线辐射（UV）。它进一步分为两个可以独立控制的区域--一个用于切口活化，一个用于发育。紫外线强度和处理时间可以调整，以适应厚度和电阻率等晶圆特性。光致抗蚀剂板可以快速轻松地取出，在大小晶圆直径之间切换。在第一个区域中，光学活动掩码被放置在晶片上方并由紫外线激活。这会导致氧化过程在表面蚀刻和形成所需的形状。第二区利用湿法化学溶液去除多余的光刻胶，清洁表面。这是通过使用真空、高压齿轮泵和低流量喷射器的组合来实现的。该系统还为使用反应性离子蚀刻（RIE）和深层反应性离子蚀刻（DRIE）的更为复杂的蚀刻工艺开辟了可能性。RIE可用于三维蚀刻，而DRIE可有效去除厚厚的光刻胶层并提供锋利的特征。此外，湿蚀刻工艺甚至可以通过键合氧化物蚀刻技术达到效果。总体而言,SEMITOOL 8300 S为设计和制造高精度应用的晶片提供了一个全面但用户友好的解决方桉。它在板插入、泵的配置和工艺参数方面的灵活性确保它与最新的期望和技术保持最新。