二手 SEMITOOL 840 #20068 待售

SEMITOOL 840是一款建立在Vision平台上的光阻设备，主要用于半导体、MEMS和LED应用。该系统采用高度优化、低成本的光刻胶装置，以减少循环时间，降低操作成本，提高工艺的均匀性。840设计用于晶片应用光刻加工和其他表面处理的精确、可重复和准确的结果。提供从一个基板到另一个基板的均匀性和可重复性，允许用户实现高产率，并提高性能。该机利用光刻胶工艺的精确测量和控制，提高了工艺产量，降低了总体成本。SEMITOOL 840工具建立在Vision平台上,该平台集成了多种控制系统,包括视觉引导机器人技术、高级用户界面和用于操作的综合软件包。Vision平台的综合控制和诊断工具提高了流程性能和产量。复杂的分析功能使用户能够快速轻松地查看结果。840资产还具有高度启发性的管理模式,用于监视和控制流程的所有点。SEMITOOL 840管理设备允许用户跟踪产量、吞吐量和吞吐量历史记录,同时允许实时调整每个工艺点。840提供了广泛的手动和/或自动化流程,允许针对专用流程进行自定义。这些效果包括停电、开灯/熄灯、多次旋转、反向旋转和晶圆扫描等。SEMITOOL 840专为快速更改配方而设计,使用户能够运行任何类型的作业（小型或大型）。840光刻系统提供模块化设计,使用户能够扩展其系统并根据其特定需求定制布局。SEMITOOL 840还包括一整套组件和布局,以方便融入其现有设施。840提供各种服务,最大限度地提高产量和吞吐量,同时帮助用户保持预算范围。该单元还包括用于应用的选项，如抗反射多层沉积、低介电蚀刻和等离子体蚀刻沉积。SEMITOOL 840凭借其多方面的特点、经济高效的操作和集成的支持，是领先的半导体、MEMS和LED应用光刻机。