二手 SEMITOOL 840 #9185721 待售

製造商
SEMITOOL
模型
840
ID: 9185721
晶圆大小: 4"
优质的: 2008
Automatic washing rotary dryer, 4" 2008 vintage.
SEMITOOL 840是一种光敏设备,设计用于在基板表面沉积薄而均匀的光敏层。光致抗蚀剂,又称光敏聚合物,在底物和要沉积的半导体晶片或其他元件之间提供必要的薄膜屏障层,从而确保电子元件的最佳电气性能和可靠制造。840光敏系统采用高精度、比体积分配单元和精密控制的喷雾阀,提供均匀的薄膜沉积。该机器能够沉积一层薄薄的光致抗蚀剂,其厚度基本上等于聚硅氧烷光致抗蚀剂单层的厚度,从而能够进行精确和连续的层厚度控制。SEMITOOL 840工具高度紧凑稳定,吸振能力低,维护要求低。该资产还配备了一个低位移分配模型,可精确计量所沉积的光刻胶层的厚度。最后,独特的晶片传输机制确保光致抗蚀剂以均匀的方式直接沉积在晶片表面。840是提供卓越的薄膜聚合物沉积和卓越的电子元件制造电气性能的高可靠性和经济效益的设备。利用先进技术最大限度地减少了停机时间,有效地减少了漂移,并确保了薄而均匀的光致抗蚀剂层的可靠沉积。该系统非常适合具有高吞吐量要求的大型和长期生产环境。SEMITOOL 840为高效、注重成本和可靠的光刻沉积提供了理想的解决方桉。
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