二手 SEMITOOL 840F #151787 待售
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ID: 151787
晶圆大小: 4"
Spin rinse dryer, 4"
101 Controllers Digital
Ferro Fluidic Seal
Brushed Motor
Electro polished Bowl Finish
Polypropylene Cabinet “Aero Style” : New
Color coded pneumatic lines
Resistivity Option
CE door lock requirement
Rotors (1-2”, 1-4”) 4 bolt
Complete Documentation Package
Guaranteed Particle counts < 25 at 0.3 micron
Manufactured and Qualified with 17 meg Ohm DI water and class 1 N2
Shipping Crate.
SEMITOOL 840F是一种先进的光刻胶浆料加工设备.该系统设计用于光刻、光刻、蚀刻和清洗过程,适用于各种半导体应用。该装置具有精密计量机和先进的音量控制能力,允许精确、可重复的浆料应用。这样可以降低周期时间,从而提高生产效率和更可靠的结果。坚固的控制平台可确保精确、可重复的光阻涂层和冲洗功能,从而产生可靠和一致的结果。840F配备了四个高性能的抗蚀剂分散泵,这使得一个均匀分布抗蚀剂一致的薄膜。该工具还具有温度控制的输送资产,可确保在精确的温度和粘度下保持抗性,从而获得精确的薄膜涂层。该模型采用双作用桶搅拌,可精确溷合光刻胶浆料,提高均匀性和可重复性。此外,双通洗功能还提高了涂层的均匀性,并且无需手动冲洗步骤。SEMITOOL 840F设计有一个强大的警报设备,如果有任何组件超出公差或发生系统故障,该设备会向操作员发出警报。它还具有自动自校准和液位传感器,使设备保持准确而无需手动校准。该机器的设计确保了微粒污染最小,并减少了维护和停机时间,从而延长了刀具的正常运行时间和产品可用性。该平台还与各种化学品和浆料配方兼容,允许定制操作。840F是适用于许多半导体应用的光刻胶先进的浆料处理资产。其业界领先的设计提供了高精度计量、双动桶搅拌、双通洗能力和温控输送模式,确保了最大效率、重复性和可靠性。
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