二手 SEMITOOL 840S #84177 待售

SEMITOOL 840S是为满足当今半导体行业的需求而设计的光刻设备。该系统旨在提供最高的光敏处理精度和精确度,并以最小的停机时间提供高性能结果。840S具有直观、用户友好的界面,便于控制设备并改进配方管理。该机包括具有集成微洗涤器和多轴晶圆传递臂的抛光平台，可重复精度和晶圆定位。该工具配备了Peltier冷却资产,以减少热漂移,并在高温下处理时保持模型性能。SEMITOOL 840S光刻设备采用多波长激光系统，对光刻过程提供精确控制。这一单元包括一个长波和短波激光器，具有独立的控制在不同的波长图案的光敏。该机还具有一个Bosch工艺模块，它提供了严格的位置精度和过程变量，以实现最佳的光刻图样结果。840S设计具有内置的安全功能,以确保结果一致。该工具配备了大气控制资产（ACS），该资产在模型内部保持清洁的空气环境，以防止灰尘和碎片在晶片上收集。此外，光致抗蚀剂设备还有一个辐射控制系统（RCS），用于监测激光辐照度并限制辐射扩散。SEMITOOL 840S具有先进的软件命令语言（SCI）,便于远程监视和控制光刻装置。SCI允许轻松访问数据收集和分析、改进配方管理以及警报通知功能。此外，这台机器能够执行100多个预先编程的配方。840S是任何半导体制造设施的绝佳光刻工具。凭借其高精度、精确度和可重复性，用户可以放心，他们的晶片将满足最严格的行业规范。用户友好的界面和广泛的安全功能使SEMITOOL 840S成为任何光刻加工作业的安全可靠的选择。