二手 SEMITOOL 840S #9088736 待售

SEMITOOL 840S光刻设备是为提供半导体晶圆和其他基板的超精确光刻加工而设计的先进设备。它提供了一套广泛的功能,可实现高性能、一致的制造技术。840S是一种直接驱动、高架自动涂层和开发解决方桉,能够支持各种光刻胶应用。其优越的工程降低了局部可变性，使半导体晶片的加工直径从3英寸到12英寸。它直观、用户友好的设计简化了安装、操作、使用和维护,而坚固的材料和结构确保了未来几年的耐用性和可靠性。SEMITOOL 840S Photoresist System包括一个掩蔽装置、一个内置的发电机、真空控制器、湿板凳和一个功能强大的软件套件来操作整个组件。此用户友好单元允许技术人员在手动处理所需时间的一小部分内对光刻胶处理步骤进行编程或调整。加工步骤包括自动模式识别、干湿自旋涂层、预烤、曝光、后烘烤、开发、抗剥离、去渣等。840S还包括一整套诊断程序,以确保大多数抗蚀剂材料中的最高工艺性能,包括处理负性和正性抗蚀剂的能力,以及选择介于中间或蒸发自旋涂层的选项。为确保晶圆产量最大，可见、紫外线和红外成像用于检测缺陷或污染。此功能还有助于即时识别和纠正问题。此外，SEMITOOL 840S的设计考虑到安全性，提供了多达四个集成的安全传感器，可以检测晶圆的存在，以及防止晶圆掉落或超压。最后,计算机有一个多级服务计划作为后盾,该计划根据需要提供技术帮助。840S光敏工具是专业半导体制造的可靠高效的解决方桉。