二手 SEMITOOL 860 #9265750 待售

SEMITOOL 860光刻设备是一种功能齐全的电化学沉积系统，用于CMP、沉积和蚀刻工艺。它旨在提高需要精确、高分辨率光敏层的工艺的质量和吞吐量。它能够产生均匀、光滑的光致抗蚀剂层，不需要手动清洗或沉积后清洗步骤。这是通过使用浸入式储罐单元实现的，该单元提供了一个清洁环境，以优化润湿、平整和表面均匀性。该机具有自动实时检测和补偿功能，可扫描基板并优化工艺参数，以确保均匀的光刻涂层。这确保了一致的结果，无论不同的基材类型。该工具还具有两步旋转涂层卤化银光刻胶（90°-180°）和单步旋转涂层喷涂光刻胶。这样可以在选择应用程序的最佳光刻胶类型时提供更大的灵活性。860包括一个计算机控制的流程开发中心,用于快速、轻松地对新流程进行原型设计和表征。它利用强大的图形编程界面快速轻松地配置详细的过程指令以实现全自动操作,从而为其他重要任务腾出时间。综上所述，SEMITOOL 860是一种功能强大、用户友好的光刻胶资产，旨在生产质量一致、吞吐量最大的高分辨率光刻胶层。其先进的特点使其成为要求苛刻的CMP、沉积和蚀刻工艺的理想解决方桉。