二手 SEMITOOL 860 #9265751 待售

SEMITOOL 860是一种光刻设备，旨在实现用于制造半导体器件的光刻应用。该系统由光掩模对准器、自旋显影器、洗涤器和轨道四个不同的组件组成。光掩码对齐器由一个光学工具组成，它可以读取、对齐和投射图样到晶圆上。它能够精确到1um的读取模式,并具有用户可调节的模式定义和曝光时间。860的自旋显影剂特性利用离心力快速准确地将抗蚀膜层沉积到晶片表面上。这提高了工艺速度和准确性,同时还节省了高容量和低容量应用的材料。洗涤器便于在开发过程中从晶片中去除多余的光敏材料。洗涤器配有刷筒，用于软刷清洗，桨辊，用于更积极的清洗。两者都使用静电场来吸引和去除不需要的材料。单元的最后组成部分是轨道。轨道设计用于监测和控制光刻过程。它由一系列传感器和电子元件组成，跟踪晶圆的运动、时间、温度和其他参数，以最大限度地提高工艺效率和精度。总之，SEMITOOL 860是一种高效可靠的光刻机，能够在高速、精确的情况下实现高效的光刻。它为用户提供了一整套组件,有助于高效生产和节省成本。