二手 SEMITOOL 860F #84179 待售

SEMITOOL 860F是一种光刻设备,主要用于制造半导体器件.该系统包括一个光头和一个定制的机械臂，用于精确控制面罩和基板的放置，从而实现极小和复杂图桉的均匀和高效的光刻涂层。该机组还提供多种选择，包括四级冷却盘和加热溶剂盘，以及旋转涂层、喷涂涂层，以及晶圆温度、压力和其他可变条件的实时监控。860F机器可以支持甲基异丁基酮（MIBK）和2-Methylisobutylketone（MIBK II）等溶剂工艺，以及聚酰亚胺、聚氨酯、氧化硅溶液等高固体体系。该工具还提供先进的喷涂技术，如静电、变化的喷嘴孔大小、均匀的流动和低气溶胶形成。这种精确的控制允许可靠的涂覆难以涂覆的特性,例如可渗透的接触层,以及阵列化的小特徵和电路结构,例如SRAM记忆体。此外,SEMITOOL 860F还具有一个低k值分配器,可提高流程均匀性,其高级控件可轻松优化流程。该资产还支持从0.18 um到5 um的功能大小,从而无需手动对齐掩码。860F具有两级烤箱、可调气体净化和低ESD结构等安全特性,是可靠、安全的光刻工艺工具。综上所述，SEMITOOL 860F是一种健壮的光刻胶模型，旨在实现经济高效、可靠和高分辨率的复杂图样和细腻特征图样，适用于最先进的半导体制造工艺。