二手 SEMITOOL 860S #133030 待售
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ID: 133030
Spin Rinse Dryer (SRD)
PSC 101 controller
Servo motor, brushless
Can configure tool with anti-static
DI water resistivity option included
Water recirculation option included
New rotors are available (2 are needed).
SEMITOOL 860S是为光刻工艺设计的光刻设备解决方桉。该产品用于半导体行业,用于制造电路板、LED芯片和其他集成电路组件。该系统能够快速高效地处理大量的光刻胶。860S单元由两个关键部件组成,一个是旋转工艺罐,另一个是顶置沉积机。该工艺罐装有喷枪、擦洗棒和真空喷射器,以帮助操纵坦克内的光刻胶。它还有一个自动清洁循环,以防止光刻胶受到污染。架空工具使用生成射流沉积工艺将光致抗蚀剂沉积到基板上。射流允许光刻胶沿着基板的均匀定位。资产还包括带有触摸屏显示和集成软件模型的控制界面。这允许用户精确监控光刻胶过程,以获得所需的结果。界面还收集设备反馈,以更新工艺参数和跟踪结果。SEMITOOL 860S系统提供高产生产率和优良的均匀性.由于加工罐的组件是就地组装的,因此也需要最少的模具。该单元还被编程为遵循针对特定产品要求的预定义配方。此外,860S易于维护,因为所有组件都可以独立监控,并保持在最佳工作状态。它也由耐腐蚀材料构成,并有一个完全封闭的防尘盖。机器可以与其他SEMITOOL系统连接,以增加复杂性和能力。总体而言,SEMITOOL 860S是一种功能强大且高效的光刻工具,广泛应用于半导体行业。这一资产提供了一种一致和优化的光敏溶液,能够产生高产和均匀的沉积物。860S具有直观的用户界面和自动化的过程,是光刻的可靠工具。
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