二手 SEMITOOL 860S #151778 待售

SEMITOOL 860S是一种光刻加工设备,可为各种半导体制造应用提供快速、准确和可靠的光刻技术。该系统包括精密机动化晶片级、闭环温度控制和光阻优化功能。860S具有大型600 X 800mm精密面板底座和大型铝制散热器、真空卡盘单元和精密电动晶片级。Cambridge ESI 4560高级控制器处理过程参数和数据的控制、监视和显示。UMPC的动态伺服控制保证了过程的稳定和高吞吐量。SEMITOOL 860S采用闭环温度控制设计,提供准确、可重复的过程温度.热力计和热电偶组成的阵列能够实时监测晶圆温度，以确保过程的可重复性。IRBAPF10向电动晶片级提供光学反馈,以实现精确的晶片调平和对准。机器的高级自动化提供了进一步的工艺优化,包括自动预涂层、涂层轮廓和抵抗条形轮廓。先进的基板处理程序也被用于晶圆处理和分类。该工具还能够实现护理和维护自动化,以确保长期可靠的性能。860S是半导体制造工艺中光刻应用的绝佳选择，因为它的精度、速度和精确度。SEMITOOL 860S具有一系列的过程控制特性和自动化工具，被证明是一种可靠、准确、经济的半导体抗蚀剂处理选择。