二手 SEMITOOL 860S #16794 待售

SEMITOOL 860S Photoresist Equipment是一个全自动的卷到卷湿处理系统。它专为大批量生产具有更精细几何形状的半导体器件而设计，需要精确和可重复的工艺。860S单元以模块化平台为基础,可将多种处理方式集成到一台机器中,包括"带状、清洁、旋转/移除和干燥"过程,为需要大量吞吐量的应用程序提供高效、经济高效的解决方桉。该工具包括不锈钢皮带输送机、手动或光学对准、"网状或围裙"隔板，以及由工艺控制单元、软件、泵、罐和过滤器组成的主模块。资产中还有一个额外的"烘干机"模块。该单元允许使用车载传感器和自动控制实现全过程自动化。该模型还具有隔离处理、批处理模式设置以及各种基板和工艺组合的可编程设置。SEMITOOL 860S设备旨在优化和控制剩余光刻层蚀刻和/或沉积过程。该系统可配置为准确运输和精确对齐底物，并在底物的所需区域上准确分配所需的化学物质。该单位利用低化学量，减少成本和浪费。机载传感器提供实时控制和监测，以调整化学浓度和参数，从而实现最佳工艺结果。860S机器为生产半导体器件提供了光刻加工的可重复性和可靠性。通过对基材进行高速率的加工,以及方便的维护和支持,可以节省成本。