二手 SEMITOOL 860S #9137504 待售
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ID: 9137504
Spin rinse dryer, up to 5"
102 Controllers, Digital,
Non-Contact Labyrinth Rear Bowl Shaft Seal
Brushless Motor
Rotors (2) up to 5”
Electro polished Bowl
Polypropylene Cabinet “ Aero Style”
Resistivity
Static Eliminator
Particle counts < 25 at 0.3 micron
(2) Rotors
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 860S是一种用于处理集成电路(IC)和其他半导体晶圆的全自动光刻带设备。该系统设计用于受控环境(如晶圆制造设施)中的高生产率。它具有一个极其精确的单元,用于精确地查明IC上的光刻胶厚度层。860S由铸铝框架构成,其顶部装有主工艺模块。该模块由一系列通道组成,加热介质通过这些通道从晶圆顶部除去光刻胶,使剩余的光刻胶处于浮雕状态。通道提供均匀的温度,确保一致的结果,气体压力可以调整均匀覆盖。机器还有一个专有软件,它控制着工具,并提供了一系列不同的光刻带程序。该软件包括许多安全功能,旨在保护资产免受故障和外部干扰。它还提供了一系列选项,以进一步根据操作员的要求定制模型。SEMITOOL 860S还有一个冷却模块,专门设计用于保持室内光刻胶的温度,因为过度加热会导致损坏和不良结果。冷却模块允许操作员设置所需的温度范围,以及压力、辐射热和大气污染物等广泛的其他条件。总体而言,860S是一种创新的光阻设备,设计用于生产集成电路和其他半导体组件的最佳性能。它结合了精确的控制、温度范围、压力水平和安全特性,使其成为高科技生产的理想选择。该系统还具有很高的可编程性,允许操作员自定义其设置和结果以获得最佳性能。
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