二手 SEMITOOL 860S #9265752 待售

SEMITOOL 860S是一种具有高性能、灵活性和可靠性的光阻剥离和涂层系统。它旨在满足高端半导体行业的需求。该系统提供了一整套功能和特性,包括出色的空间一致性、高吞吐量、出色的正常运行时间、易于维护以及与其他系统的集成。860S的主工艺室容积近800升，有助于在等离子体室中提供出色的均匀性。腔室设计为在所有四个侧面都有绝缘，这有助于确保腔室内的温度均匀。这反过来又允许抗蚀层在基板上的应用一致。该腔室的设计还允许精确和一致的压力控制，这有助于确保快速和准确地进行这些过程。SEMITOOL 860S有一个板载抵抗带工作站，以便在制造过程中方便高效地去除困难的光刻胶。其先进的双头剥离机理使用了氧化物溶剂，旨在减少对底物的损害。它还具有内置的旋转涂层站，用于快速应用抗蚀层，从而实现精确的均匀性和高通量。该系统具有用户友好的界面和直观的图形控件,可帮助简化设置和运行所有进程的过程。860S还可以很容易地与其他系统集成,从而方便自动化和连接。总体而言，SEMITOOL 860S是高端半导体行业光刻涂层和剥离需求的理想解决方桉。凭借出色的均匀性、高吞吐量和用户友好的界面,它提供了许多优势,任何半导体制造商都难以利用这些优势。