二手 SEMITOOL 870 #84266 待售

SEMITOOL 870
製造商
SEMITOOL
模型
870
ID: 84266
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 870是专为先进半导体应用而设计的高性能光刻设备。光致抗蚀剂是一种化学材料,暴露在光线或其他形式的辐射下,以形成图样或其他结构。870提供高效、准确的光敏胶片处理。SEMITOOL 870系统具有优异的光刻加工精度和可重复性.其三轴级提供了极为精确的基板和光致抗蚀剂的定位和运动,使得快速,均匀的覆盖与最高级别的工艺控制。该单元允许使用多种处理技术,并为每个进程提供自定义控制参数。用户友好的图形界面支持和简化配方的编程。其六室设计提供了冗余的安全冗余,并增加了用于维护和高级处理的气体类型。其先进的UV光源以极低的杂光水平提供优化的图像和图样质量。870使用先进的软件提供精确、可重复的光掩码,精确匹配设计布局。该机还具有较高的吞吐量和与多个基板同时工作的能力。SEMITOOL 870是高精度、复杂的光敏处理的理想解决方桉。它提供了快速、可靠的光刻胶片处理和精确的控制模式参数和曝光时间。高吞吐量和精确的生产周期可在最小的停机时间内提高产量和降低成本。870具有先进的功能和坚固的结构,是半导体光刻胶应用的绝佳选择。其精确的控制、较短的周期时间和较高的吞吐量,使其成为光刻胶加工的可靠高效的解决方桉。
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