二手 SEMITOOL 870 #9139664 待售

SEMITOOL 870光抗蚀剂设备是一种高效可靠的工具，用于在包括金属、陶瓷和硅在内的一系列基材材料上进行蚀刻和制图。该系统配备了可靠、无维护的10英寸温控拼盘,具有反应性离子蚀刻（RIE）功能。870利用反应性气体的组合，在具有电场和磁场的材料中蚀刻光致抗蚀剂图样，从而在蚀刻过程中具有显着的精度和速度。非接触式物理气相沉积（PVD）装置能够加强对抗蚀剂掩模沉积的时间和密度的控制。SEMITOOL 870可以处理多种基材，包括NiFe、SiC、Nb、Ti，使其适合广泛的应用。870还配有内置的可编程控制器，具有6个可编程区域和多达6个用户定义的配方。它具有将盘片的某些部分重新加热到所需温度的能力，以实现快速的过程重复性。SEMITOOL 870的精确度进一步提高，采用了热机械增强的机械分配阀，提供了可靠的分配性能，并提供了最小数量的喷射到喷射变化。该机还拥有各种选项，如自动口罩转移和装载、高度可配置的蚀刻和光刻电镀配方、连续气流监测、激光计量和排水槽，以及一个最多可容纳10个容器的坚固的防腐层。可以使用包括金属和硅酸盐基抗蚀剂在内的各种抗蚀剂材料，消除了多应用过程更换抗蚀剂的需要。此外,870的快速对齐功能确保基板与基板对齐时间保持最小。SEMITOOL 870是一款经济高效、可靠且先进的光刻工具,可支持广泛的制造过程,使其成为寻找高质量蚀刻资产者的绝佳解决方桉。