二手 SEMITOOL 870 #9265753 待售

SEMITOOL 870光刻设备是用光刻材料加工晶片的自动化平台。光致抗蚀剂是一种应用于晶片表面的化学涂层，对光敏感，可用于将光刻图样传递到晶片表面。870光刻系统具有精确的光刻工艺，具有很高的精度和生产率。它有一个氦自旋涂层，用均匀的光刻材料涂覆晶片。自旋涂层采用软件可配置的自旋速度和温度控制配方设计,以实现统一的工艺结果。该设备的精密涂层和均匀厚度消除了标准化过程的需要，增加了吞吐量。SEMITOOL 870具有电动XY蜘蛛工艺板，在旋转涂层过程中精确对准和控制晶圆。该机器还包括一个低应力的光掩模对准器，分辨率高达50纳米，用于在晶圆表面上精确和可重复地对准光掩模和硬掩模。该工具提供了可编程的温度控制和过程监控与单一视图过程配方，简化了操作员交互。内置干泵设备无需单独的真空发生器，无需手动更换曝光盒和口罩。还包括一个空间滤光片，该滤光片简化了光源趋势的获取，并确保晶圆上的光照始终均匀，同时最大限度地减少了整个表面的阴影步进。870设计用于生产过程的可靠控制和灵活性。该模型适用于任何抗蚀剂类型的各种晶圆尺寸和厚度,可以快速适应新的工艺配方变化,而无需重新校准。设备设计易于维护，部件更换简单整齐。通过配置多个流程监控工具,操作员可以快速检查和验证流程条件。SEMITOOL 870非常适合任何需要精确和可重复生产的光刻胶生产工艺。以统一的工艺和高精度，870努力提高生产率和制造产量。因此，它是光刻胶生产的一个有价值的工具。