二手 SEMITOOL 870D #84759 待售

SEMITOOL 870D是一种专为加工半导体晶圆而设计的光刻胶系统。它非常适合于介电蚀刻、光致抗蚀剂剥离和晶片清洗工艺，并在半导体工业中用于这些应用。870D为广泛的应用和工艺提供高性能的解决方桉,从积极的蚀刻到精密蚀刻。SEMITOOL 870D配备了几个关键特性，包括两个独立的工艺模块，加热PC控制的晶片卡盘，加热PC控制的样品盘，UV泛光灯输入，惰性气体输入，闭环过程控制。870D使用加热的PC控制晶片卡盘,以确保均匀的加热和蚀刻分布,并最大程度地减少颗粒污染。加热后的样品盘确保光致抗蚀剂均匀地涂在晶片上。这样可以确保较高的锁存率和长宽比,并减少缺陷的形成。紫外线泛光和灯用于在蚀刻前激活光刻胶。此外，SEMITOOL 870D有惰性气体输入，以改善收集和减少污染。870D能够提供可选的蚀刻速度和均匀的蚀刻以提高制造产量。此外,SEMITOOL 870D具有闭环过程控制功能,包括板载能量监控、实时过程监控、蚀刻后分析和即时校正等工具,以确保准确、可重复和可靠的处理。这些数据可用于确保进程在所有必要参数之内。870D提供了最新的半导体技术，是一个高能力的光刻系统。SEMITOOL 870D的高级特性和功能确保了可靠高效的工作流,并可以提高流程吞吐量和产量。闭环过程控制还为确保过程的完整性提供了强大、准确的解决方桉,使870D成为半导体制造的理想解决方桉。