二手 SEMITOOL 870F/L #9266741 待售

SEMITOOL 870F/L是一种光刻胶设备,设计用于提供光刻胶的精确涂层和开发.它非常适合各种应用，包括半导体和显示器。该系统具有两级密度计、集成光阻制图单元、可编程喷雾和处理参数以及均匀基板覆盖的自动速度控制等先进功能。机器可以在整个基板上提供3.5%均匀性的最大性能。该工具带有两个加工室-前室（喷雾室）和后部层流室（带状室）。在喷雾室中，使用双面喷雾臂将光敏材料均匀地输送到基板的两侧。然后，液滴通过两个独立操作的旋转器，对每个应用程序进行微调。这有助于在整个基板上实现最佳的光致抗蚀层均匀性。带状室用于为基板提供均匀的光致抗蚀层清洁。该腔室采用层流技术，可确保光刻胶层的精确去除。腔室配有高精度喷嘴，使所有基板的蚀刻深度都合适。这一过程也是高度可重复的，确保了高度准确的结果。870F/L光刻胶资产还包括一套先进的特性，以确保其可靠性和有效性。该模型包含一个可靠的密度计，允许精确测量光刻胶层厚度。此外，集成制图设备有助于准确检测和跟踪光刻胶层上的缺陷。这有助于确保最高质量和可重复的生产标准。SEMITOOL 870F/L光刻胶系统是一种先进可靠的设备，为光刻胶处理提供了高效的解决方桉，非常适合各种应用。该单元包含的特征组合使其能够传递均匀的光刻材料层、精确的清理过程以及对层厚度的精确测量。这确保了这一进程保持准确和一致。