二手 SEMITOOL 870F #151768 待售

SEMITOOL 870F是一种光刻设备,旨在为高精度光刻工艺提供高通量和高时效。它能够处理大型基板，并为要求最苛刻的光刻应用提供专业质量的结果。该系统采用模块化设计,允许更灵活地使用该工具。该机组的主要优点之一是维护要求极低。该机器设计为以全自动模式运行,安装时间最短,无需手动干预,从而提高了吞吐量并节省了成本。870F工具配备了一个大直径的轨道，具有曲折的轨道路径和多个停靠点。该轨道的设计目的是尽量减少基板传输时间，同时提供强大的加速和减速。性能优化的电动机可确保加载和卸载过程中的运动准确且可重复。该台设计用于精确定位行进距离可达600毫米的对准和曝光点。该资产具有直观的用户界面,可轻松定制配方。该模型提供了一系列高级功能,如基板识别、曝光控制、板载等。集成模式识别软件允许快速设置和控制非常复杂的"网格"曝光。SEMITOOL 870F设备还提供集成的光阻处理器。使用此功能,用户可以在装入系统之前自动清洁和干燥涂有抗蚀剂的基板。这有助于减少浪费的光刻胶材料,提高吞吐量和准确性,并最大限度地节省成本。该装置还被设计为能够快速装载和卸载基板，每个基板的最大装载时间为0.3秒。它具有符合人体工程学的人机界面，可提高用户舒适度。此外,集成的流程监控软件可确保所有运行中的性能一致且可靠。总体而言，870F是一个强大和高度先进的光刻机完美的高精度光刻工艺。它提供了更高的时间效率和更高的吞吐量、高级功能以及最低限度的维护要求,从而最大程度地节省了成本。