二手 SEMITOOL 870F #178373 待售

SEMITOOL 870F是为提高半导体晶圆加工精度和效率而设计的全自动高性能光刻设备。该系统为先进的光刻胶开发和洁净室集成提供了广阔可靠的平台。870F的设计具有很高的吞吐量,每小时可运行800次。这台光刻机提供了一个波纹传送装置，可以处理200毫米大小的基板，可以在多个模块上进行高效的同时处理。它采用柔性腔室配置完成，提供了应用各种工艺化学方法的能力，并含有无维持的静态中和过滤器，有助于减少腔室内的污染。此工具还具有高度符合人体工程学的设计。它执行各种细腻的操作，并配有一个光幕，以保护人们免受危险的光辐射。由于SEMITOOL 870F的设计多种多样,因此可以轻松地与其他SEMITOOL过程模块集成在一起,以实现全面的工程解决方桉。此外,870F提供了多种安全功能,减少了生产过程中的停机和中断。它能够储存多达4,000份食谱，提供确保最高质量产量的最佳工艺参数。使用功能强大且直观的软件进行改进,可以轻松研究、修改和存储食谱。总体而言，SEMITOOL 870F光致抗蚀剂资产在广泛的应用中促进了基板的先进开发和剥离。其多种集成技术简化了集成和操作,同时提供了卓越的性能和可靠性。