二手 SEMITOOL 870F #293725516 待售

SEMITOOL 870F是一种用于半导体制造中薄膜沉积处理的光刻设备。它提供具有独特自动化功能的卓越过程控制。该系统用途广泛，具有各种可编程模块，允许各种可定制的进程。870F非常适合各种光致抗蚀剂的需要,包括SiON蚀刻、PR去除、共面化和保护性大衣沉积。SEMITOOL 870F提供强大的过程控制功能,可消除各种工具到工具、胶片到胶片以及批量到批量的变化。它也是高度可编程的，允许精确的沉积模式和针对各种暴露时间和浓度的可自定义装配。870F基于模块化平台接口（MPI）体系结构和预测建模技术,提供了改进的监控和诊断、更严格的预测以及更快的过程优化。该装置采用先进的多室设计，其最通用的加工室配有架空淋浴头式沉积头、机械臂基应用机和两个独立的射频（RF）基板热源。它兼具气体和液体兼容性，允许将氧化物、氮化物和金属等多种材料沉积到各种样本量和形状上。SEMITOOL 870F还具有集成的晶圆指纹识别器,使其能够识别特定晶圆的晶圆几何形状、基材类型和材料组成。这使得流程更加可靠、高效和准确。它的高分辨率视觉工具能够快速、精确地定位基板，以确保准确和可重复的处理。它还提供快速的安装时间,高效的基板处理和匹配,以及方便的维护.资产可以以最短的转移时间整合到任何现有的加工室中，整个室可以移动而无需重新鉴定。870F与SMIF和FOUP（前开口统一窗格）窗格兼容,因此可以轻松集成到各种清洁环境中。SEMITOOL 870F光致抗蚀剂设备具有高度精确的工艺控制、集成的视觉模型和快速的设置时间,是解决半导体制造环境中各种光致抗蚀剂需求的理想解决方桉。