二手 SEMITOOL 870F #9268556 待售
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SEMITOOL 870F是设计用于在化学环境中处理半导体晶片的光刻设备。它配备了超光刻NanoFlex™技术的先进、进一步改进版本。870F是一种全自动、精确的半导体材料阵列化解决方桉。通过集成过程温度控制系统，提供了优良的模式质量和清洁区域均匀性。它能够加工直径达200毫米的晶圆,因此能够快速、精确地制作从2 um到50 um的基材图样。SEMITOOL 870F提供了一个集成的高成本效益预对齐模块。这个单元监控晶片位置和舞台对准在预对准，以确保快速和精确的基板图样。它还能够快速地从曝光室中装载和卸载基板。870F光刻机使用两个光资源进行曝光过程。Cadax VCP 30配备了3kW和6kW氙气灯，使工具在曝光过程中具有灵活性。这使客户能够为半导体市场中最具挑战性的过程调整曝光时间。SEMITOOL 870F中使用的NanoFlex™技术可实现精确的DUV光阵列,并能够提供高级半导体工艺所需的精细线宽结果。它具有宽波长范围的紫外线光源和激光照明资产，能够在不需要暴露于外部光线的情况下进行光图样。根据洁净室评级标准,870F设计用于10级洁净室环境。它有一个创新的后开口检修面板，由环氧树脂和不锈钢制成，以及其他抗腐蚀的部件。它包括一个保护性排烟管道，符合环保局和OSHA排放标准。SEMITOOL 870F是一种先进、鲁棒的光刻胶模型，专为半导体加工而建。它为客户提供了可靠、高质量的基板阵列设备,并具有快速的周转时间,以实现快速高效的结果。
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