二手 SEMITOOL 870F #9268564 待售
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SEMITOOL 870F是一种光刻设备，用于在基板表面上绘制感光材料的图层。它是专门为制造半导体元件和器件而量身定制的。该系统可用于创建各种类型的图样，如接触开口、闸门电极开口、vias、金属线条等。870F配备了一个数字成像单元，以准确和精确地渲染基板上的图样。该机集成了高分辨率数码相机、高放大倍率光学器件和变焦机构，用于极精确的图样。相机可以设置在0.1微米到0.2微米的分辨率范围内,x、y和z轴移动功能提供无限的精度。SEMITOOL 870F利用扫描级以X、Y和Z轴移动功能提供对曝光区域的精确控制。这样可以精确控制阵列制作过程,从而确保精确、一致地形成所需的阵列。SCS-211C曝光工具集成了真空/压力滑动卡盘自动基板夹紧和高精度模块化差动驱动资产,最大精度为5nm,用于精确基板运动。870F还具有模块化处理室,可为各种涂层和加工需求提供高度的灵活性。例如,它具有一个原位旋转涂层/抗蚀性涂层室,用于将图样化材料施加到基板上。该腔室采用集成抗蚀剂旋转臂、热电偶、真空/压力基板卡盘和具有自动速度控制功能的预置径向旋转头驱动模型。SEMITOOL 870F是一种高效的光刻设备，为复杂的半导体器件制造和制图过程提供经济高效的解决方桉。它的模块化体系结构为各种工艺步骤提供了灵活性，其集成的数字成像系统实现了复杂结构的高精度阵列化。此外，其自动化特性和原位腔室系统提供一致的过程控制，确保设备的最大产量和输出。
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