二手 SEMITOOL 870S #293590456 待售

SEMITOOL 870S
製造商
SEMITOOL
模型
870S
ID: 293590456
晶圆大小: 6"
Dual stack SRD, 6".
SEMITOOL 870S是为先进半导体工业设计的全自动大体积光刻加工设备。该系统包含一个一百八十度线性自旋冲洗单元和一个三级化学模块,以提供一致的、可重复的结果。本机设计用于光刻剥离、剥离清理、清洗、蚀刻和防腐涂层等应用。使用计算机控制的参数,SEMITOOL 870 S提供了用户定义的程序,准确精确的ashing,清洁,和预清洗规格。870S提供了范围广泛的工作温度,可在循环的不同步骤从50°C调整到150°C。温度范围的设计允许各种化学溶液用于不同的工艺应用。870 S使用先进的机械臂来装卸条形托盘,其零件从一角钱大小的部件到较大的基板组件不等。该工具还具有CCD摄像头,可以检测和处理透明、彩色和不透明的组件。先进的机器人技术旨在提供高速差异化的快速船只交换。这可以改善光刻胶循环时间。SEMITOOL 870S是降低化学品成本和提高效率的一种经济高效的方法。其先进的自动化和控制解决方桉有助于减少操作和监控流程所需的时间和精力。此外,SEMITOOL 870 S具有三级化学性质,以保证所期望的结果。870S还具有内置故障安全资产,以确保高精度和可靠性。总体而言,870 S是为半导体行业设计的先进光刻胶加工模型。其高度自动化的设备和控制解决方桉有助于减少操作和监控应用程序过程所需的时间和精力。SEMITOOL 870S提供广泛的工作温度和先进的机器人技术,用于快速交换容器.此外,其内置的故障安全系统和三级化学系统提供了可靠、一致和可重复的结果。
还没有评论