二手 SEMITOOL 870S #293830204 待售

SEMITOOL 870S Photoresist Equipment是一个先进、经济高效的抗蚀剂自动化处理平台。利用模块化体系结构，SEMITOOL 870 S系统能够处理多达8个300 mm晶圆和多种化学物质，提供了诸如自旋涂层、干燥、软烘烤、接触、曝光和开发等工艺选择。这样就可以同时涂覆两种或两种以上的化学或工艺，提高吞吐量，并最大限度地减少对废物的抵抗。870S设备可以为不同的应用和技术配置工艺配方。它的图形用户界面和从每个过程步骤中获取的数据允许对所有机器组件和警报进行密切监视,从而有助于轻松进行警报管理和故障排除。870 S工具由广泛的附件支持,允许对光刻工艺进行灵活多样的处理。这包括负载锁、4瓶、6瓶和8瓶套房，以及成像和检查照明系统。此模块化设计使用户能够根据各自的需求扩展或减少功能或流程。该资产的设计目的是减少加工时间,并帮助最大限度地降低污染风险,同时提供精湛的工艺一致性,减少涂层分配,提高晶片负载的晶圆。使用直观的过程程序指令和专用的分配软件选项可以调整实际的分配速度和旋转速度。SEMITOOL 870S还由于其机械设计、精确的自旋速度控制以及出色的液体工艺参数可重复性，为抗蚀膜提供了卓越的平面化。SEMITOOL 870 S模型的高精度模具附着技术允许在基板传输设备中进行精确的晶片载荷和索引，从而导致零件在晶片上的精确定位。总之，870S光刻系统是广泛光刻应用的理想选择。870 S具有强大、可靠和模块化的体系结构,可提供全面的流程能力、灵活性和经济高效的处理。