二手 SEMITOOL 870S #9165830 待售
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ID: 9165830
晶圆大小: 6"
Spin rinse dryers (SRD), 6"
(102) Digital controllers
Non-contact labyrinth rear bowl shaft seal
Brush-less motor
(2) Rotors per double stack
Electro polished bowl
Polypropylene cabinet: Aero style
Resistivity
Static eliminator
Color coded pneumatic lines
Documentation package
Particle counts: < 25 at 0.3 Micron
(17) Meg Ohm's DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 870S是为半导体制造领域的高精度应用而设计的光刻设备。该系统利用先进技术提供卓越的准确性和可靠性。SEMITOOL 870 S提供了广泛的功能,旨在最大限度地提高其性能。它由高速微处理器单元和能够快速处理数据的高容量内存组提供动力。它配备了机械设计,可以精确放置元件,并在机器设置方面提供灵活性。该工具还非常注重自动化例程和针对复杂步骤的高度精确的标准配方。870S的一个重要组成部分是其化学特性,能够提供出色的结果。这包括从主要供应商中全面选择光刻胶溶液。该资产的模块旨在与各种流程和机器轻松集成,允许用户将其与现有设备一起使用。该模型也是高效一致的。它配备了自动化的工艺和流,可以进行精确的温度管理和有效的光刻胶分布。用户还可以存储复杂的配方,减少涂料操作的时间和成本。此外,870 S支持一系列材料和工艺技术。它具有超精密晶片级,具有先进的特性,可精确沉积光致抗蚀剂.它还为具有挑战性的任务提供了高级功能,例如高级材料沉积、温度测量以及基板和涂层对齐。最后,SEMITOOL 870S采用低拥有成本结构进行设计。它几乎不需要维护,而且以经济实惠的价格提供高水平的性能。SEMITOOL 870 S具有一系列旨在提高其准确性和可靠性的功能,为制造商提供了一个可靠的解决方桉来满足其光刻胶需求。
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