二手 SEMITOOL 870S #9397638 待售

SEMITOOL 870S
製造商
SEMITOOL
模型
870S
ID: 9397638
Spin Rinse Dryers (SRD) Double stack.
SEMITOOL 870S是一种用于加工和制造电子设备的光刻设备。它是一种遮罩对齐器,一种用于在平面基板层上创建图桉的仪器。光致抗蚀剂是光敏材料,在光束穿过的地方反应,允许某些区域的图样化。SEMITOOL 870 S由一个自动装卸基材表、一个曝光源和一个步进器组成。曝光源具有固定的透明表面和石英照明器,这使得所需的图样能够通过曝光曝光暴露在抗蚀层上。步进器允许在x和y方向上精确定位曝光源和基板表的运动。870S系统配备了允许特定模式定义的软件。由于阵列是使用曝光源创建的,因此需要精确定位。这可以通过设备的自动特性来实现,6轴控件提供曝光源在X、Y和Z方向、俯仰、侧倾和偏航中的运动,以实现遮罩的完美慢跑对齐。870 S还包括一个高速率金属清洁功能,允许抗蚀剂去除和金属颗粒蚀刻在基板上。这是通过使用高功率脉冲激光器以高速率完成的。这种强大的激光提供了快速和精确的抵抗暴露,从而使SEMITOOL 870S机器适合先进的应用。总体而言,SEMITOOL 870 S是一种高效的光刻工具,旨在提供精确的电子设备阵列。它便于用户使用,具有自动化的装卸能力、精确的定位、软件定义的模式、高速率的金属清洗以及使用高功率激光进行曝光。因此,870S是制造和加工电子设备的有用工具。
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