二手 SEMITOOL 880F #2366 待售

SEMITOOL 880F Photoresist Equipment是一个先进的半导体制造平台,旨在以极短的周转时间高效加工晶圆。该系统采用化学气相沉积工艺，为光致抗蚀剂应用提供了最高质量的性能，如对准、细线图桉、厚膜沉积和薄膜涂层。880F具有简单易用的界面,使操作员能够轻松编程和管理其许多功能。它的过程控制软件是专门为自动化生产序列而设计的，为用户提供了要求最苛刻的应用程序的最佳精度和可重复性。霍尼韦尔流程解决方桉包括在内,可提高流程的准确性和控制。SEMITOOL 880F配备了一个大型的锁载室,可容纳多达6个预装150 mm或200 mm晶圆的盒子。预加载功能允许用户通过在预期运行批处理的情况下加载多个框来减少非生产性时间。载荷锁还具有端点规格特征，可精确控制腔室大气和温度。880F还通过使用特殊的气动辅助板式气泡装置为用户提供更高的热精度。此外，SEMITOOL 880F还配备了精确的间隔时间控制快门，以保证光刻胶剥离过程的精确定时。此外，还可以为多个工艺罐配置880F，允许同时处理不同的光刻胶。此功能可减少周转时间并提供流程灵活性。总体而言，SEMITOOL 880F是一种强大而高效的光刻机，可以帮助半导体制造商快速、经济高效地加工晶片。具有自动化序列、改进的精度和控制以及提高的热精度等功能,880F为用户提供了光刻应用中的最佳性能。